超纯水为将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除 至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值（25℃）。含盐量在 0. 3mg/L以下，电导率小于0. 2μs/cm。超纯水是科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、 纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出 来的水，这种水中除了水分子（H20）外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶 英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，饮用后会析出人体 相关离子从而对人体造成伤害。 超纯水处理一般工艺很难达到，其采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步 骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电 阻率方可达18.25MΩ*cm（25℃）。